麻蒔立男/著 -- 日刊工業新聞社 -- 199303 --

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所蔵館 所蔵場所 請求記号 資料コード 資料区分 帯出区分 状態
本館 1層 /549.8/17/ 1103511141 一般 利用可 利用可

資料詳細

タイトル 超微細加工の基礎 
副書名 半導体製造技術
著者 麻蒔立男 /著  
出版者 日刊工業新聞社
出版年 199303
ページ数 261,4p
大きさ 21㎝
一般件名 半導体 精密加工
ISBN 4-526-03284-0
定価 3500円

内容一覧

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各章末:参考文献